跟着无线 GHz以上电磁波频谱的运用国际上还存在争辩，有些国家现已将6 GHz全频段授权用于Wi-Fi 6E，而更多的国家在考虑把此频段部分用于蜂窝无线G）。因而，源于对不同制式和频段间信号的阻隔需求，作业于6 GHz的高品质因数（Q值）声波谐振器以及高功能滤波器将会成为下一阶段无线通讯开展的关键技术，也是我国6G技术开展必需要自主可控的根底射频元器材与芯片。

  研讨人员提出了一种根据三维欧拉角α在x-cut单晶铌酸锂压电薄膜上规划并制备高频MEMS谐振器的办法。经过规划谐振器的电极结构，作业于6.5 GHz的S1振荡模态被激起，而且当声波传达方向（α）坐落15°时，谐振器并联谐振频率（fp）处的品质因数（Qp）高达131540，对应的谐振器优值k2·Qp和fp·Qp别离到达6300和8.6×1014Hz（图1）。

  图1.新式MEMS谐振器结构规划及功能测验：(a)三维欧拉角的界说；(b)制备的谐振器SEM相片；(c)15°谐振器导纳曲线年其它的作业在相似频段的谐振器比较，该新式MEMS谐振器把Q值提高了2个数量级，而且初次突破了谐振频率与Q值乘积（f·Q）这一难以同步提高的谐振器优值极限。更重要的是，相关作业成功发现了使用三维欧拉角可以对铌酸锂薄膜介电损耗和声学损耗进行调控的新机理，为未来微纳器材在高频无线通讯、医学超声成像、智能信息处理和物联网传感器等应用范畴打开了更多的可能性。

  我国科学技术大学微电子学院左成杰教授为论文通讯作者，微电子学院博士生戴忠斌为论文榜首作者。此项研讨作业得到了国家要点研制方案和中心高校根本科研基金的赞助，也得到了我国科大微电子学院、我国科大微纳研讨与制作中心、我国科大先进技术研讨院和我国科学院无线光电通讯要点实验室的支撑。