刚刚,中国及全球第一MEMS代工厂赛微电子官宣其首款国产BAW滤波器实现量产,啥状况?已与某客户签署长期采购协议!
刚刚(7月16日下午4点35分),中国及全球最大的MEMS晶圆代工厂赛微电子正式官宣,其首款国产BAW滤波器实现量产。该声明只有一句话,充足表现了字少事大。
据赛微电子同步发布的《北京赛微电子股份有限公司关于控股子公司BAW滤波器启动量产的公告》显示,其以 MEMS 工艺为某客户制造的系列 BAW (BulkAcoustic Wave,带谐振腔体声波) 滤波器完成了小批量试生产阶段,已与某客户签署长期采购采购协议并启动量产:
2023 年 7 月 15 日,该客户已与赛莱克斯北京同步签署《长期采购协议》赛莱克斯北京开始做 BAW 滤波器的商业化规模量产。
据7月3日,赛微电子接待机构调研时的声名显示,该BAW滤波器产线片晶圆/月,后期将扩展到10000片晶圆/月水平:
公司与武汉敏声以共同购置设备的方式合作建设的北京8英寸BAW滤波器联合产线年底实现通线,双方一直就数款BAW滤波器开展相关工作,工艺开发及试产工作符合预期,专线产品类别增加,良率水平大幅度的提高,量产事宜正在积极准备中。该产线片晶圆/月,后可扩展至1万片晶圆/月的水平。
关于BAW滤波器及在通信中的作用:是中国自主研发的手机5G/6G通信卡脖子最关键的技术之一!
此前,华为发布了P50 Pro、Mate 50等多款屏蔽了5G功能只有的旗舰手机,既令人遗憾又饱受诟病。
手机要用5G,除了有基带芯片还不行,还必须有射频前端模组/芯片,用来收发信号,射频器件领域是制约中国工业发展的“卡脖子”关键技术之一。其中,射频前端芯片中的一个重要核心的器件迟迟无法国产化量产——这就是采用MEMS工艺的BAW滤波器。
射频前端模组,由滤波器、低噪声放大器(LNA)、功率放大器(PA)、射频开关等器件组成,如下图所示:
滤波器是射频前端中最重要的分立器件,在整个射频前端模组中,滤波器的产值占到了50%以上。我国在射频前端模组中,最主要和关键的卡脖子节点,就在滤波器这里。
滤波器的作用是通过某特定的频率,而衰减其他频率成分,来提升信号抗干扰和信噪比。
随着2G、3G、4G、5G甚至未来的6G,逐步演进,要使用到的频段和制式慢慢的变多,频段慢慢的升高,因此对滤波器的要求也慢慢变得高,需求越来越多。
滤波器大致上可以分为两种:表声波滤波器(SAW滤波器)和体声波滤波器(BAW滤波器),其中SAW滤波器更适合2GHz左右及以下的频段,而BAW滤波器的优点是中高频段的性能优势,如更小的插入损耗、更高的带外抑制等,所以BAW滤波器成为5G甚至未来6G通信的关键。
目前,全球滤波器市场基本被国外厂商垄断,国内仅有少数企业能够生产,量产情况及市场占有率不佳,绝大部分产品性能不及国际巨头同产品。
博通、Qorvo等美国厂商则集中在BAW滤波器(博通主要是FBAR),两家企业占据全球90%以上市场占有率,这一市场状况持续至今(2023年)。
历经2年,赛微电子与武汉敏声合作攻坚BAW滤波器生产,性能与国际巨头相当!
2021年8月13日,赛微电子发布了一份控股子公司签署《战略合作框架协议》的公告,这份公告的主要签署对象,就是国产滤波器设计企业武汉敏声,这是赛微电子首次披露开启首款国产BAW滤波器设计、生产的信息。
在合作公告里面,明确提到“涉及面向‘射频滤波器芯片’的8英寸晶圆代工产能合作投资”,共同投入资源联合建设8英寸射频滤波器大规模量产线。赛微电子认为,本次与武汉敏声的合作:
一方面将有利于公司更广泛地与产业链下游公司做交流合作,一同推动实现本土国产BAW滤波器的技术成熟与商业量产;另一方面通过合作投资模式,有利于公司加快北京MEMS工厂的二期产能建设与扩张,将逐步推动公司在本土形成和提升自主可控的BAW滤波器生产制造能力。
一年后,2022年6月13日,赛微电子发布了重要的公告《关于控股子公司 BAW 滤波器通过验证并启动试产的公告》,声名该产线开始试生产。
公告中显示,由赛微电子北京FAB3产线代工制造的某款BAW通过了客户验证,经过对该批次BAW滤波器进行频段抑制等多方面可靠性验证,性能、良率均达到或优于设计指标要求,与国际射频巨头厂商同类别产品指标相当。
目前,该客户已经同步签署试产订单,北京FAB3 启动首批BAW滤波器8英寸晶圆的小批量生产。
今日(7月16日),赛微电子发布了重要的公告,完成了小批量试生产阶段并与某客户签署长期合作协议,赛微电子与武汉敏声两个中国杰出的MEMS企业历时两年通力合作,其首款国产BAW滤波器正式量产!
北京赛微电子股份有限公司(简称“赛微电子”),是全球及中国最大纯MEMS代工厂,2015年在深交所创业板上市,重点发展MEMS工艺开发与晶圆制造业务,2016年全资收购瑞典MEMS芯片制造商SilexMicrosystemsAB,提供压力、惯性、红外、微镜、光开关、硅麦克风等多种MEMS工艺开发及晶圆制造的服务。
根据半导体市场研究机构Yole Development统计的2021年数据,Silex Microsystems AB 连续3年在全球MEMS纯晶圆代工排名中位居第一,全球MEMS芯片代工市场(不包含IDM厂商自身制造部分的统计)的占有率约为8%。
赛微电子目前国内的MEMS产线万片/月,分三期建设,2021年6月北京8英寸MEMS产线,塞莱克斯北京)一期建成生产,其一期产能为1万片/月,二期产能为2万片/月,与武汉敏声合作建设的滤波器产线已包括在二期产能中。
武汉敏声新技术有限公司(简称“武汉敏声”),是国产射频前端BAW滤波器行业有名的公司,据官网显示,由武汉大学工业科学研究院孙成亮教授联合14名国际知名业内专家共同创立。公司以射频滤波器为拳头产品,同时覆盖压电式麦克风以及压电超声传感器芯片,致力于打造成一家集设计、生产和销售于一体的企业。公司具备完整的自主知识产权,已经注册百余项专利,建立了多维度多层次的专利壁垒。
武汉敏声自有知识产权的无线射频前端体声波滤波器(BAW)属于射频滤波器中技术门槛和价值量较高的产品,该类商品市场应用空间广阔,长期被国外厂商垄断,其所属的射频器件领域是制约中国工业发展的“卡脖子”关键技术之一。
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