器材大会（IEDM 2023）在美国旧金山举行。中国科学院上海微体系与技能研究所（简称：上海微体系所）欧欣研究员课题组以口头陈述方式宣布了题为“Miniaturized Dual-Mode SAW Filusing 6-inch LiNbO3-on-SiC fNR and WiFi 6”的研究成果，博士生郑鹏程、张师斌副研究员、华南理工大学徐金旭副教授为本论文一起榜首作，张师斌副研究员、欧欣研究员为论文一起通讯作者。IEDM会议被誉为范畴的“奥林匹克盛会”，是陈述半导体和电子器材技能、规划、制作、物理和建模等范畴的关键技能打破的顶尖

  本作业中，欧欣研究员课题组根据自主研发的6英寸高质量X-cut LiNbO3/SiC异质集成衬底，在国际上首先提出面向5G/6G、WiFi 6/7运用的“双模鼓励，多频集成”的高性能、低成本的声表面波（SAW）滤波器技能。传统的SAW滤波器通常在单一规划方向上激起单一的声波形式（例如瑞利波、水平剪切波SH-SAW、纵向漏波LL-SAW等），且作业频率难以打破3GHz，仅适合于传统4GLTE频段，难以在高频段与FBAR、IPD等技能抗衡。

  如图1所示，因为X-cut LiNbO3面内的强各向异性以及SiC衬底极高声速的特性，高机电耦合系数、高Q值的LL-SAW和SH-SAW形式可一起在LiNbO3/SiC异质衬底的不同面内方向上激起，即运用完全相同的器材规划，在不同面内方向上可分别得到高频、中频两种滤波器呼应。如图2（a-b）中，在1.0~1.5 μm的波长下，SH-SAW和LL-SAW谐振器分别在3~4 GHz和4.7~6.3 GHz的频率范围内展现出高机电耦合系数和高Q值。图2（c）中，两颗SH-SAW滤波器在5G N77频段展现出495 MHz和391 MHz的带宽以及

  为进一步验证双模态SAW技能在杂乱网络（如双工器、多工器等）中的运用远景，本作业中还规划了5G N79 &Wi-Fi6和5G N77 & 5G N79的高性能双通带滤波器呼应（图3），地图尺度

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  6/E、三频段、双频段和单频段装备。该模块可合作运用各种天线（例如模块管脚或U.FL连接器的天线），而且配有LTE

  CPE（Customer Premises Equipment，用户驻地设备）的运用形式，以

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  应该怎么共处？它们到底是敌是友？谁将终究成为移动互联的干流呢？ 从运用层面看，

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